Estudo e controlo da microestrutura de filmes dinos de Tântalo depositados por DOMS

O presente trabalho insere-se no estudo das potencialidades de uma fonte HiPIMS (High Power Impulse Magnetron Sputtering) adquirida pelo Centro de Engenharia Mecânica da Universidade de Coimbra (CEMUC) que tem a particularidade de operar em modo DOMS (Deep Oscillations Magnetron Sputtering), uma var...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Sousa, Cláudio José Soares de (author)
Format: masterThesis
Language:por
Published: 2016
Subjects:
Tântalo
Filmes finos
Pulverização catódica
Magnetrons
Domínio/Área Científica::Engenharia e Tecnologia::Engenharia Mecânica
Online Access:http://hdl.handle.net/10316/36881
Country:Portugal
Oai:oai:estudogeral.sib.uc.pt:10316/36881

Internet

http://hdl.handle.net/10316/36881

Similar Items