Estudo e controlo da microestrutura de filmes dinos de Tântalo depositados por DOMS

O presente trabalho insere-se no estudo das potencialidades de uma fonte HiPIMS (High Power Impulse Magnetron Sputtering) adquirida pelo Centro de Engenharia Mecânica da Universidade de Coimbra (CEMUC) que tem a particularidade de operar em modo DOMS (Deep Oscillations Magnetron Sputtering), uma var...

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Detalhes bibliográficos
Autor principal: Sousa, Cláudio José Soares de (author)
Formato: masterThesis
Idioma:por
Publicado em: 2016
Assuntos:
Tântalo
Filmes finos
Pulverização catódica
Magnetrons
Domínio/Área Científica::Engenharia e Tecnologia::Engenharia Mecânica
Texto completo:http://hdl.handle.net/10316/36881
País:Portugal
Oai:oai:estudogeral.sib.uc.pt:10316/36881

Texto Completo

http://hdl.handle.net/10316/36881

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