Revestimento de superfícies metálicas com TiN e AIN produzidos com plasma magnetrão
Este trabalho visa a obtenção e o estudo das características dos revestimentos de AlN e TiN em substratos metálicos, produzidos por pulverização catódica em plasma magnetrão, num equipamento com cátodo oco, desenvolvido no LEF do CEFITEC. Este equipamento foi adaptado para o presente trabalho, atrav...
Main Author: | |
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Format: | masterThesis |
Language: | por |
Published: |
2008
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Subjects: | |
Online Access: | http://hdl.handle.net/10362/1055 |
Country: | Portugal |
Oai: | oai:run.unl.pt:10362/1055 |