Revestimento de superfícies metálicas com TiN e AIN produzidos com plasma magnetrão

Este trabalho visa a obtenção e o estudo das características dos revestimentos de AlN e TiN em substratos metálicos, produzidos por pulverização catódica em plasma magnetrão, num equipamento com cátodo oco, desenvolvido no LEF do CEFITEC. Este equipamento foi adaptado para o presente trabalho, atrav...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Evaristo, Manuel António Peralta (author)
Format: masterThesis
Language:por
Published: 2008
Subjects:
Online Access:http://hdl.handle.net/10362/1055
Country:Portugal
Oai:oai:run.unl.pt:10362/1055