Revestimento de superfícies metálicas com TiN e AIN produzidos com plasma magnetrão
Este trabalho visa a obtenção e o estudo das características dos revestimentos de AlN e TiN em substratos metálicos, produzidos por pulverização catódica em plasma magnetrão, num equipamento com cátodo oco, desenvolvido no LEF do CEFITEC. Este equipamento foi adaptado para o presente trabalho, atrav...
| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | masterThesis |
| Idioma: | por |
| Publicado em: |
2008
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| Assuntos: | |
| Texto completo: | http://hdl.handle.net/10362/1055 |
| País: | Portugal |
| Oai: | oai:run.unl.pt:10362/1055 |