RF capacitively coupled plasmas in N2-H2 mixtures
Comunicação em Poster
Autor principal: | |
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Outros Autores: | , , , , , , |
Formato: | conferenceObject |
Idioma: | eng |
Publicado em: |
2012
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Texto completo: | http://hdl.handle.net/1822/20138 |
País: | Portugal |
Oai: | oai:repositorium.sdum.uminho.pt:1822/20138 |