RF capacitively coupled plasmas in N2-H2 mixtures

Comunicação em Poster

Detalhes bibliográficos
Autor principal: Mahjoub, A. (author)
Outros Autores: Gouveia, A. (author), Carrasco, N. (author), Pintassilgo, C. D. (author), Marques, L. (author), Ramos, Marta M. D. (author), Alves, L. L. (author), Cernogora, G. (author)
Formato: conferenceObject
Idioma:eng
Publicado em: 2012
Texto completo:http://hdl.handle.net/1822/20138
País:Portugal
Oai:oai:repositorium.sdum.uminho.pt:1822/20138