Low-pressure closed-loop MEMS accelerometers for automotive applications

Tese de Doutoramento (Programa Doutoral em Sistemas Avançados de Engenharia para a Indústria)

Bibliographic Details
Main Author: Lima, Vasco António Lourenço (author)
Format: doctoralThesis
Language:eng
Published: 2020
Subjects:
acelerómetro
encapsulamento a vácuo
MEMS
modulação sigma-delta
accelerometer
sigma-delta modulation
vacuum encapsulation
Engenharia e Tecnologia::Engenharia Eletrotécnica, Eletrónica e Informática
Online Access:http://hdl.handle.net/1822/76836
Country:Portugal
Oai:oai:repositorium.sdum.uminho.pt:1822/76836

Internet

http://hdl.handle.net/1822/76836

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