Optimização do sistema MPCVD para deposição de filmes de diamante

O presente trabalho teve como principal objectivo, o estudo e montagem de um reactor, para deposição de filmes de diamante a partir da fase vapor, activado por um gerador de microondas. Do Inglês, microwave plasmaassisted chemical vapour deposition (MPCVD). Numa primeira fase do estudo, foi necessár...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Reis, Alexandre Francisco Pereira dos (author)
Format: masterThesis
Language:por
Published: 2012
Subjects:
Engenharia mecânica
Deposição química de vapor
Filmes de diamante
Revestimentos protectores
Reactores químicos
Online Access:http://hdl.handle.net/10773/6810
Country:Portugal
Oai:oai:ria.ua.pt:10773/6810

Internet

http://hdl.handle.net/10773/6810

Similar Items