Optimização do sistema MPCVD para deposição de filmes de diamante
O presente trabalho teve como principal objectivo, o estudo e montagem de um reactor, para deposição de filmes de diamante a partir da fase vapor, activado por um gerador de microondas. Do Inglês, microwave plasmaassisted chemical vapour deposition (MPCVD). Numa primeira fase do estudo, foi necessár...
| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | masterThesis |
| Idioma: | por |
| Publicado em: |
2012
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| Assuntos: | |
| Texto completo: | http://hdl.handle.net/10773/6810 |
| País: | Portugal |
| Oai: | oai:ria.ua.pt:10773/6810 |