Process-properties relations in deep oscillation magnetron sputtering
Tese de doutoramento em Engenharia Mecânica, na especialidade de Engenharia de Superfície, apresentada ao Departamento de Engenharia Mecânica da Faculdade de Ciências e Tecnologia da Universidade de Coimbra
| Autor principal: | |
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| Formato: | doctoralThesis |
| Idioma: | eng |
| Publicado em: |
2018
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| Assuntos: | |
| Texto completo: | http://hdl.handle.net/10316/79590 |
| País: | Portugal |
| Oai: | oai:estudogeral.sib.uc.pt:10316/79590 |
| Resumo: | Tese de doutoramento em Engenharia Mecânica, na especialidade de Engenharia de Superfície, apresentada ao Departamento de Engenharia Mecânica da Faculdade de Ciências e Tecnologia da Universidade de Coimbra |
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