Navigation grade frequency-modulated MEMS accelerometer using internal thermal-piezoresistive amplification

Programa doutoral em Engenharia Eletrónica e de Computadores – Instrumentação e Microssistemas Eletrónicos

Bibliographic Details
Main Author: Coelho, Cláudia Alexandra Araújo (author)
Format: doctoralThesis
Language:eng
Published: 2021
Subjects:
Acelerómetros MEMS ressonantes
Amplificação termo-piezoresistiva
Ressoadores MEMS
MEMS resonant accelerometers
MEMS resonators
Thermal-piezoresistive amplification
Engenharia e Tecnologia::Engenharia Eletrotécnica, Eletrónica e Informática
Online Access:http://hdl.handle.net/1822/75746
Country:Portugal
Oai:oai:repositorium.sdum.uminho.pt:1822/75746

Internet

http://hdl.handle.net/1822/75746

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