Otimização da deposição de filmes multicamada reativos sobre fios de tungsténio
Dissertação de Mestrado em Engenharia de Materiais apresentada à Faculdade de Ciências e Tecnologia
| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | masterThesis |
| Idioma: | por |
| Publicado em: |
2019
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| Assuntos: | |
| Texto completo: | http://hdl.handle.net/10316/96219 |
| País: | Portugal |
| Oai: | oai:estudogeral.sib.uc.pt:10316/96219 |