Otimização da deposição de filmes multicamada reativos sobre fios de tungsténio
Dissertação de Mestrado em Engenharia de Materiais apresentada à Faculdade de Ciências e Tecnologia
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | masterThesis |
| Language: | por |
| Published: |
2019
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://hdl.handle.net/10316/96219 |
| Country: | Portugal |
| Oai: | oai:estudogeral.sib.uc.pt:10316/96219 |