Low-pressure resonant MEMS accelerometers for automotive applications

Tese de Doutoramento (Programa Doutoral em Sistemas Avançados de Engenharia para a Indústria)

Bibliographic Details
Main Author: Moreira, Eurico Esteves (author)
Format: doctoralThesis
Language:eng
Published: 2020
Subjects:
MEMS
acelerómetro ressonante
magnetómetro MEMS
vácuo
resonant accelerometer
frequency-modulated magnetometer
vacuum encapsulation
Engenharia e Tecnologia::Engenharia Eletrotécnica, Eletrónica e Informática
Online Access:http://hdl.handle.net/1822/76837
Country:Portugal
Oai:oai:repositorium.sdum.uminho.pt:1822/76837

Internet

http://hdl.handle.net/1822/76837

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