Low-pressure resonant MEMS accelerometers for automotive applications

Tese de Doutoramento (Programa Doutoral em Sistemas Avançados de Engenharia para a Indústria)

Detalhes bibliográficos
Autor principal: Moreira, Eurico Esteves (author)
Formato: doctoralThesis
Idioma:eng
Publicado em: 2020
Assuntos:
MEMS
acelerómetro ressonante
magnetómetro MEMS
vácuo
resonant accelerometer
frequency-modulated magnetometer
vacuum encapsulation
Engenharia e Tecnologia::Engenharia Eletrotécnica, Eletrónica e Informática
Texto completo:http://hdl.handle.net/1822/76837
País:Portugal
Oai:oai:repositorium.sdum.uminho.pt:1822/76837
Descrição
Resumo:Tese de Doutoramento (Programa Doutoral em Sistemas Avançados de Engenharia para a Indústria)

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