Micro-g MEMS accelerometer based on time measurement

Programa Doutoral em Engenharia Electrónica e de Computadores

Detalhes bibliográficos
Autor principal: Dias, Rosana Maria Alves (author)
Formato: doctoralThesis
Idioma:eng
Publicado em: 2013
Assuntos:
Pull-in
MEMS
accelerometer
noise
parallel-plates
damping
electrostatic feedback
gas viscosity
acelerómetro
placas-paralelas
amortecimento
feeback electrostático
viscosidade de gas
Texto completo:http://hdl.handle.net/1822/24893
País:Portugal
Oai:oai:repositorium.sdum.uminho.pt:1822/24893
Descrição
Resumo:Programa Doutoral em Engenharia Electrónica e de Computadores

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