Computer simulation study about the dependence of amorphous silicon photonic waveguides efficiency on the material quality

Este trabalho foi financiado pelo Concurso Anual para Projetos de Investigação, Desenvolvimento, Inovação e Criação Artística (IDI&CA) 2016 do Instituto Politécnico de Lisboa. Código de referência IPL/2018/aSiPhoto_ISEL

Bibliographic Details
Main Author: Fantoni, Alessandro (author)
Other Authors: Costa, João (author), Lourenço, Paulo (author), Vieira, Manuela (author)
Format: article
Language:eng
Published: 2020
Subjects:
Amorphous silicon
Simulation analysis
Lithography imperfections
Deposition process
Online Access:http://hdl.handle.net/10400.21/12032
Country:Portugal
Oai:oai:repositorio.ipl.pt:10400.21/12032
Description
Summary:Este trabalho foi financiado pelo Concurso Anual para Projetos de Investigação, Desenvolvimento, Inovação e Criação Artística (IDI&CA) 2016 do Instituto Politécnico de Lisboa. Código de referência IPL/2018/aSiPhoto_ISEL

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