Process-properties relations in deep oscillation magnetron sputtering

Tese de doutoramento em Engenharia Mecânica, na especialidade de Engenharia de Superfície, apresentada ao Departamento de Engenharia Mecânica da Faculdade de Ciências e Tecnologia da Universidade de Coimbra

Bibliographic Details
Main Author: Ferreira, Fábio Emanuel de Sousa (author)
Format: doctoralThesis
Language:eng
Published: 2018
Subjects:
HiPIMS
DOMS
ionization
thin films
high power
alta potência
ionização
filmes finos
Engenharia Mecânica
Online Access:http://hdl.handle.net/10316/79590
Country:Portugal
Oai:oai:estudogeral.sib.uc.pt:10316/79590
Description
Summary:Tese de doutoramento em Engenharia Mecânica, na especialidade de Engenharia de Superfície, apresentada ao Departamento de Engenharia Mecânica da Faculdade de Ciências e Tecnologia da Universidade de Coimbra

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