Lithographic mask defects mitigation on a multimode interference structure

Este trabalho foi financiado pelo Concurso Anual para Projetos de Investigação, Desenvolvimento, Inovação e Criação Artística (IDI&CA) 2019 do Instituto Politécnico de Lisboa. Código de referência IPL/2019/BioPlas_ISEL

Bibliographic Details
Main Author: Lourenço, P. (author)
Other Authors: Fantoni, Alessandro (author), Costa, J. (author), Vieira, Manuela (author)
Format: article
Language:eng
Published: 2021
Subjects:
Beam propagation method
Finite differences time domain
Multimode interference
Lithographic resolution
Graphene
Chemical potential
Online Access:http://hdl.handle.net/10400.21/12782
Country:Portugal
Oai:oai:repositorio.ipl.pt:10400.21/12782

Internet

http://hdl.handle.net/10400.21/12782

Similar Items