Navigation grade frequency-modulated MEMS accelerometer using internal thermal-piezoresistive amplification

Programa doutoral em Engenharia Eletrónica e de Computadores – Instrumentação e Microssistemas Eletrónicos

Detalhes bibliográficos
Autor principal: Coelho, Cláudia Alexandra Araújo (author)
Formato: doctoralThesis
Idioma:eng
Publicado em: 2021
Assuntos:
Acelerómetros MEMS ressonantes
Amplificação termo-piezoresistiva
Ressoadores MEMS
MEMS resonant accelerometers
MEMS resonators
Thermal-piezoresistive amplification
Engenharia e Tecnologia::Engenharia Eletrotécnica, Eletrónica e Informática
Texto completo:http://hdl.handle.net/1822/75746
País:Portugal
Oai:oai:repositorium.sdum.uminho.pt:1822/75746
Descrição
Resumo:Programa doutoral em Engenharia Eletrónica e de Computadores – Instrumentação e Microssistemas Eletrónicos

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