Deposition of AlNx thin films on polymers for the development of biosensors
Dissertação de Mestrado Integrado em Engenharia Biomédica apresentada à Faculdade de Ciências e Tecnologia da Universidade de Coimbra
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | masterThesis |
| Language: | eng |
| Published: |
2013
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://hdl.handle.net/10316/36265 |
| Country: | Portugal |
| Oai: | oai:estudogeral.sib.uc.pt:10316/36265 |