Garcia, I. S., Ferreira, C., Santos, J. D., Martins, M. S., Dias, R. M. A., Aguiam, D. E., . . . Gaspar, J. (2020). Fabrication of a MEMS micromirror based on bulk silicon micromachining combined with grayscale lithography.
Citação norma ChicagoGarcia, Ines S., Carlos Ferreira, Joana D. Santos, Marcos Silva Martins, Rosana Maria Alves Dias, Diogo E. Aguiam, Jorge Cabral, and Joao Gaspar. Fabrication of a MEMS Micromirror Based on Bulk Silicon Micromachining Combined with Grayscale Lithography. 2020.
Citação norma MLAGarcia, Ines S., et al. Fabrication of a MEMS Micromirror Based on Bulk Silicon Micromachining Combined with Grayscale Lithography. 2020.
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