Monitorização e otimização da deposição de filmes de óxidos mistos por RF-sputtering
Dissertação para obtenção do Grau de Mestre em Engenharia Física
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | masterThesis |
| Language: | por |
| Published: |
2013
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://hdl.handle.net/10362/8725 |
| Country: | Portugal |
| Oai: | oai:run.unl.pt:10362/8725 |