Monitorização e otimização da deposição de filmes de óxidos mistos por RF-sputtering
Dissertação para obtenção do Grau de Mestre em Engenharia Física
| Autor principal: | |
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| Formato: | masterThesis |
| Idioma: | por |
| Publicado em: |
2013
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| Assuntos: | |
| Texto completo: | http://hdl.handle.net/10362/8725 |
| País: | Portugal |
| Oai: | oai:run.unl.pt:10362/8725 |
| Resumo: | Dissertação para obtenção do Grau de Mestre em Engenharia Física |
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